O LEXT combina um laser de 408 nm com um conjunto óptico desenhado especialmente para funcionamento com esse comprimento de onda, para otimizar a qualidade da imagem e as aberrações de limite. O software Olympus oferece uma interface de usuário simples, de processamento rápido e análise avançada em uma solução única.

As técnicas de microscopia de campo claro, campo escuro e contraste de interferência diferencial (DIC) são possíveis tanto no modo de imagem confocal de vídeo quanto no de laser. O novo modo laser confocal DIC é especialmente útil para destacar variações sutis de textura durante a análise da superfície.

3. Medição em 3D com alta precisão
Medição em 2D: Mais adequado para medição de larguras de 1.5 mm a 1 µm. É possível fazer tanto medições de largura de linha quanto geométricas (por exemplo, o diâmetro de um círculo).

Medição em 3D: Mais adequado para medição de saliências de 1 mm a 0.5 µm. Volume, capacidade, área da superfície, etc podem ser medidos em 3D. A espessura de um filme transparente fino pode ser medida.

Análise de rugosidade: Melhor adaptado para análise de rugosidade de cerca de Rz 0.1 µm. É possível fazer análise de rugosidade de linha e superfície. Sondagem sem contato deixa a amostra livre de arranhões.

Foco na resolução

O sistema óptico sofisticado desenvolvido especialmente pela Olympus para funcionamento a 408 nm oferece uma fantástica resolução de imagem, minimizando as aberrações associadas à iluminação de comprimento de onda curta e maximizando o desempenho da fonte de luz de 408 nm. O poder de resolução é aumentado pelo conjunto óptico confocal com um orifício circular otimizado adicional e um scanner XY de alta velocidade desenvolvido com a tecnologia Olympus MEMS. O resultado é a maior resolução plana do mercado, resolvendo claramente linhas de 0.12 µm e padrões de espaço de 0.01 µm de altura, para medições ultra-precisas de superfícies de fabricação microscópicas.

Sistema óptico UV de 408 nm

Scanner bidimensional (ilustração conceitual)

1. Capacidades de microscópio ótico convencional
Como os microscópios ópticos, operar o LEXT não exige um conhecimento especial - a imagem é visível assim que a amostra estiver no lugar, permitindo que qualquer um faça observações e medições rápida e facilmente. A capacidades familiares dos microscópios ópticos, como observação de campo claro, campo escuro e Nomarski DIC estão inclusas, de forma que mesmo o menor defeito ou dano possa ser detectado instantaneamente.

2. Platina motorizada (OLS30-CS150AS) --- para produção rápida e precisa