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MX61 e MX61L

Com nossa longa experiência nos campos de ciência industrial e de materiais, a Olympus fornece muitas soluções definidas tornando as inspeções de dispositivos eletrônicos mais fáceis, rápidas e mais eficientes.

Os microscópios de inspeção de semicondutores MX61/MX61L foram desenvolvidos especificamente para atender as demandas da inspeção de semicondutores. Esses microscópios amigáveis permitem aos operadores trabalhar em posição ergonomicamente correta e terem benefício da operação confortável ao longo de períodos de inspeção extensos. Com isso, a produtividade e a integração dos instrumentos na área de trabalho são maximizadas.

Modelos

MX61: Inspeção de semicondutores de 6" e 8"

MX61L: Inspeção de semicondutores de 300 mm


CATÁLOGOS:

Aviso: Os catálogos estão disponíveis apenas em Inglês.








| Recursos e Benefícios | | Acessórios | | Dimensões | | Especificações |

Recursos e Benefícios

Os microscópios Olympus MX favorecem todos os usuários desde o início atendendo todas as suas necessidades, sem desperdício de tempo ou dinheiro.

  • Início rápido
  • Operação fácil
  • Análise de falhas
  • Capacidade de expansão futura

Contraste ótimo sempre
A interrupção integrada e motorizada da abertura é automaticamente ajustada para a objetiva em uso. Dessa forma, a melhor qualidade de imagem é obtida em todas as ampliações, tornando as inspeções de rotina mais confortáveis para os olhos e aumentando a taxa de detecção de falhas.

Vários métodos de observação
O MX61 está equipado por padrão com iluminação para campo claro e escuro. Além disso, ele permite a inserção de um cubo de observação para obter luz polarizada para contraste de interferência diferencial (DIC) ou iluminação de fluorescência para a detecção de camadas resistentes e partículas orgânicas.

Controle frontal intuitivo para acelerar a operação
Com o MX61 não se perde tempo procurando uma posição confortável ou os controles certos. Todos os controles importantes estão ao acesso das mãos na frente do microscópio, próximos aos botões de focalização. A troca de objetivas, bem como os ajustes na iluminação e interrupção da abertura podem ser feitos sem necessidade de tirar os olhos das oculares.

Design que economiza espaço
O tamanho pequeno e o design estreito do MX61 facilitam a organização de áreas de trabalho práticas e com pouco espaço. O design estreito da estativa reduz a distância de transferência dos sistemas de manipulação de semicondutores à platina do microscópio. Isso aumenta a velocidade de transferência do semicondutor, minimizando o risco de contaminação.

Design ergonômico
O MX61 atende os mais recentes padrões SEMI S2/S8 assegurando resultados confiáveis e operação confortável.

Pronto para imagens digitais
O MX61 está equipado com uma interface de computador que permite observar o status do microscópio. Dessa forma, as ampliações da objetiva podem ser armazenadas automaticamente ao se capturar uma imagem. Isso assegura informações confiáveis das imagens para processamento e análise posteriores.

Novo iluminador de campo escuro e objetivas recém-projetadas
O iluminador recém-projetado do MX61 em combinação com as novas objetivas Plan Fluoride BD2 proporcionam até 2 vezes mais contraste de campo escuro que os microscópios comparáveis desta classe, tornando a detecção dos menores defeitos mais rápida e confiável.


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Acessórios

Perfeitamente projetado para fixação de carregadores de semicondutores (opcional)
A estativa do MX61 foi perfeitamente projetada para combinar com a série de carregadores de semicondutores AL110 da Olympus. O desenho estreito da estativa do MX61 reduz a distância de transferência e torna a manipulação de semicondutores muito mais rápida.

Foco automático a laser em tempo real (opcional)
Para tarefas de inspeção totalmente automatizadas ou a inspeção de amostras com pouco contraste (por exemplo, superfícies polidas) a função de varredura do foco automático a laser em tempo real assegura sempre a posição correta do foco.

Acessório confocal de disco para imagens em tempo real com resolução de 0.2 µm (opcional)
Para a inspeção de dispositivos semicondutores mais avançados, a resolução do MX61 pode ser aprimorada pelo módulo confocal U-CFU. O disco patenteado proporciona brilho e contraste excelentes.

Inspeção interna no semicondutor com a iluminação infravermelha refletida (opcional)
O MX61 permite a adaptação de componentes ópticos especiais infravermelhos que possibilitam a microscopia em infravermelho. Isso permite a inspeção através das camadas de silício, que não são transparentes à luz visível.

Observação de fluorescência para facilitar a detecção de resíduos resistentes
Para facilitar a detecção de resíduos resistentes e partículas orgânicas, o MX61 pode ser equipado com um cubo de espelho de fluorescência e fontes de iluminação de alta intensidade.


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Dimensões



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Especificações

Modelo

MX61

MX61L

Sistema Óptico UIS (Universal Infinity System)
Suporte do Microscópio Iluminação por Luz Refletida (F.N. 26.5)
Lâmpada de halogênio de 12V, 100W (do tipo pré-centralizada)
Espelho para campo claro/escuro mais 1 cubo (opcional), método de troca
Diafragma de abertura motorizado integrado
(Predefinição para cada objetiva, aberta automaticamente para observação de campo escuro)

Iluminação por Luz Transmitida*(F.N. 26.5)
*Quando a unidade de iluminação transmitida MX-TILLA ou MX-TILLB estiver combinada.
Iluminação por fonte de luz LG-PS2 e guia de luz LG-SF (lâmpada de halogênio de 12V, 100W) ou equivalente.

1)MX-TILLA: condensador (N.A.0.5), com interrupção de abertura
2)MX-TILLB: condensador (N.A.0.6), com interrupção de abertura e campo

Métodos de Observação
1)Campo claro com luz refletida,
2)Campo escuro com luz refletida,
3) Nomarski DIC com luz refletida,
4)Luz refletida polarizada simples,
5)Fluorescência com luz refletida,
6)Infravermelho (IR) com luz refletida,
7)Campo claro com luz transmitida,
8)Luz transmitida polarizada simples

*Cubos separados (opcionais) são necessários para No.3, 4 e 5.
*No.7 e 8 requerem combinação com uma unidade de iluminação transmitida.
Porta-objetiva 1)Porta-objetivas giratório sêxtuplo motorizado com slot deslizante para DIC: U-D6REMC
2)Porta-objetivas giratório quíntuplo motorizado BD com slot deslizante para DIC: U-D5BDREMC
3)Porta-objetivas giratório quíntuplo centralizável com slot deslizante para DIC: U-P5REMC
Rotação frontal pelo botão de troca de objetivas no painel frontal do microscópio ou diretamente pela chave manual U-HSTR2 (indicado pelo usuário)
Tubo de Observação 1)Tubo triocular inclinável para imagens eretas em campo super amplo (F.N. 26.5): MX-SWETTR
2)Outros: Tubo triocular em campo super amplo / Tubo binocular em campo amplo
Tubo triocular inclinável para imagens eretas em campo super amplo (F.N. 26.5): MX-SWETTR ou U-SWETTR
(o MX-SWETTR é equipado para o MX61L como padrão.)
Platina 1)Platina MX-SIC8R de 8" x 8"
Deslocamento: 210 x 210 mm
Área de iluminação de luz transmitida: 189 x 189mm)

2)Platina MX-SIC6R2 de 6" x 6"
Deslocamento: 158 x 158 mm
(Somente para uso de luz refletida)
Platina MX-SIC1412R2 de 14" x 12"
Deslocamento: 356 x 305 mm
(Área de iluminação de luz transmitida: 356 x 284 mm)
em combinação com MX-TILLB
Mecanismo deslizante de guia de cilindro, sistema de transmissão por correia (sem armação), função de empunhadura de embreagem (sistema de desengate da unidade por correia)
Dimensões / Peso Dimensões: aprox. 509 (L) x 843 (P) x 507 (A) mm
Peso: aprox. 40 kg
(somente o suporte do microscópio aprox. 27 kg)
Dimensões: aprox. 710 (L) x 843 (P) x 507 (A) mm
Peso: aprox. 51 kg
(somente o suporte do microscópio aprox. 31 kg)
Sistema Elétrico Corpo de fonte de luz refletida integrado 100-120V/220-240V, 1.9/0.9A, 50/60Hz
Fonte de luz transmitida (LG-PS2) 100-120/220-240V, 3.0/1.8A, 50/60Hz

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